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工业气体

气体 纯度 杂质含量(PPM) 执行标准
H2

99.99%

O2+Ar≤5,N2≤60,CO≤5,CO2≤5,CH4≤10,H2O≤30

GB/T7445-1995

99.999%

O2+Ar≤1,N2≤5,CO≤1,CO2≤1,CH4≤1,H2O≤3

GB/T7445-1995

99.9999%

O2+Ar≤0.2,N2≤0.4,CO≤0.1,CO2≤0.1,CH4≤0.2,H2O≤1 GB/T7445-1995
N2

99.999%

O2≤3,N2≤1,CO、CO2、CH4总含量≤3,H2O≤5

GB 8980-88

99.9993%

O2≤2,N2≤1,CO、CO2、CH4总含量≤2,H2O≤2.6

GB 8980-88

99.9996%

O2≤1,N2≤0.5,CO、CO2、CH4总含量≤1,H2O≤1.0

GB 8980-88

O2

99.995%

Ar≤10,N2≤20,CO2≤1,总经含量≤2、水分、露点0C-69

GB/T 14599-93

99.998%

Ar≤5,N2≤10,CO2≤1,总经含量≤1、水分、露点0C-70

GB/T 14599-93

99.999%

Ar≤2,N2≤5,CO2≤0.5,总经含量≤0.5、水分、露点0C-72

GB/T 14599-93

CO

99.99%

N2≤250,H2O≤10,CO2≤20,O2≤150,H2≤5

 

99.95%

N2≤400,THC≤10,O2≤10,H2O≤20

光明院标准

99.9%

N2≤200,THC≤50,H2O≤20,O2≤20,CO2≤100,H2≤500

XN/QB-206-86

CO2

99.995%

N2≤30,THC≤5,H2O≤5,O2≤10,C2H5OH≤1

 

99.99%

O2≤10,N2≤40,H2O≤20

XN/QB 207.86

99.95%

O2≤50,N2≤300,H2O≤50

XN/QB 207.86

SO2

99.98%

残渣≤50,酸≤20,H2O≤50

 

99.8%

残渣≤300,酸≤300,H2O≤1000

 

H2S

99.99%

Air≤50,CO2≤30,H2O≤10,THC≤10

 

99.9%

Air≤50,CO2≤30,H2O≤10,THC≤10

 

NH3

99.8%

O2≤2,N2≤5,CO2≤1,经(C1-C3)≤1,H2O≤5,总杂质含量≤10

GB/T 14601-93

HCL

99.9%

N2≤16,CO2≤10,H2O≤10,O2+Ar≤5,烃类含量≤5,H2≤10

GB/T 14602-93

NH3

99.8%

残留物含量%≤0.2

工业级

HCL

99.9%

不含有机重组分,微水

化学级

SF6

99.9%

air≤0.03,cf4≤0.04,h2o≤3,oil≤10,

酸度≤0.15,可水解氟化物≤0.3

≥GB12022-89

主营业务:半导体外延硅片、氯化氢、氨气、氮气、氧气、氢气、氩气、四氟化碳、笑气、三氟化氮、硅烷、超纯气体、液态气体、管路安装改造工程、配套备品备件、劳防用品。
上海化学工业区理成贸易有限公司
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